東莞市嘉騰儀器儀表有限公司Dongguan Jaten Instrument Co., Ltd
白光干涉三維形貌儀
系統(tǒng)采用氣浮式隔振模塊、堅固的花崗巖和鋼結(jié)構(gòu)支撐，具有出色的穩(wěn)定性。測量過程簡便而快速，只需把被測物體放置到載物臺，聚焦出干涉條紋，按下測量按鈕即可開始整個測量過程。 標(biāo)準(zhǔn)配置采用五軸手動調(diào)整載物平臺，可依據(jù)不同測試要求做彈性調(diào)整，并可選配電動載物平臺，以實現(xiàn)自動定位、自動聚焦、自動縫合之大面積高精度的量測要求，樣品均不需前處理即可進行非破壞、高精度、快速的表面形貌測量和分析。 | |
| 產(chǎn)品特點： | |
?非接觸、高穩(wěn)定性、高速度測量 ?高精度測量、垂直重復(fù)測量精度可達1nm 垂直解析度可達0.1nm、水平解析度可達0.1um ?大面積測量 自動縫合技術(shù)實現(xiàn)大面積高精度測量 ?功能強大、使用便捷的測量分析軟件 PuruiVision應(yīng)用軟件可提供多項測量參數(shù) ?適用范圍廣泛 可以測量多種類型樣品的表面微細(xì)結(jié)構(gòu) ?真正意義的免維護及優(yōu)良的性能價格比 |  |
| 使用便捷的應(yīng)用軟件： | |
?硬件控制、二維載物平臺自動控制、光學(xué)系統(tǒng)自動聚焦、干涉信號處理 ?測量結(jié)果顯示及各種方式處理 二維平面和三維立體顯示 任意放大或縮小顯示圖像 調(diào)平和多角度自由旋轉(zhuǎn) ?粗糙度測量及結(jié)果顯示 包括評價區(qū)域位置信息和多種粗糙度評價參數(shù) ? 線寬測量及結(jié)果顯示 采用亞像素插值處理技術(shù)，線寬測量精度最高可達0.1um 表格形式顯示各種線寬結(jié)果 根據(jù)事先確定的評判基準(zhǔn)，實現(xiàn)線寬自動評判功能 ?多幅相鄰區(qū)域測量結(jié)果自動縫合 | |
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| 產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域： | |
| 在眾多高科技研發(fā)及產(chǎn)業(yè)中，諸如半導(dǎo)體、微機電、平面顯示器、電子封裝及光學(xué)加工等，由于微結(jié)構(gòu)表面輪廓的準(zhǔn)確性決定產(chǎn)品的功能和效能，在其制成過程中皆需針對微結(jié)構(gòu)的表面輪廓品質(zhì)進行檢測，PR系列產(chǎn)品提供多種表面參數(shù)量測功能如斷差高度、線寬、面積、體積、粗糙度、薄膜厚度及平整度等以滿足業(yè)界及研究部門之需求。無論是拋光表面還是粗糙表面，只要反光率超過1%，就能被完全檢測出來。 | |
| ?半導(dǎo)體硅片及器件 ?MEMS裝置表面 ?平面液晶顯示器 ?薄膜厚度 ?金屬摩擦學(xué) ?陶瓷基板表面 ?光學(xué)器件表面 ?其他材料分析及微表面研究 |  |
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